Barillet d'isolation de chambre de four SiC haute pureté
DESCRIPTION DU PRODUIT
Le barillet isolant en carbure de silicium recristallisé est un composant clé des équipements industriels haut de gamme à haute température, présentant notamment des avantages irremplaçables dans les processus de traitement à haute température dans les domaines des semi-conducteurs, du photovoltaïque, des céramiques spéciales et d'autres domaines. La fonction du barillet isolant de la chambre du four est de protéger l'environnement de production de la fabrication de puces - un environnement de production ultra propre et ultra précis.
Le tube isolant de la chambre du four est composé de nitrure de silicium, également appelé tube isolant en carbure de silicium. Ce tube assure la stabilité de l'environnement, et non de la température. Il maintient un microclimat constant, pur et inerte. Les tubes isolants en SiC sont des conteneurs de haute technologie qui protègent des plaquettes valant des millions de dollars et garantissent le rendement des puces. Ils sont des composants essentiels à la fabrication de puces.
Caractéristiques du barillet isolant RSiC
1. Stabilité à très haute température : limite de résistance à la température, la température d'utilisation à long terme peut atteindre 1600 ℃, tolérance à court terme 1800 ℃.
2. Rétention de la résistance à haute température : la résistance à la compression à 1500 ℃ du cylindre isolant en carbure de silicium est supérieure à 100 MPa, tandis que la résistance du matériau isolant en alumine diminue de plus de 50 % à la même température.
3. Efficacité thermique optimale : Le tube isolant en SiC présente une faible conductivité thermique : 0,8-1,2 W/(m·K) (à 800 °C), soit une réduction de 40 % par rapport aux matériaux en carbure de silicium classiques, obtenue grâce à une structure poreuse spéciale. Structure réfléchissante multicouche : utilisant du RSiC, avec une réflectivité thermique élevée.
4. Inertie chimique : Résistance à la corrosion : le corps isolant en SiC peut résister aux gaz acides tels que HCI, HF, vapeur H2SO4, aux environnements alcalins tels que le sel fondu Na2CO3 et aux métaux fondus tels que Al, Cu, Ag, etc.
5. Le barillet isolant SiC a une longue durée de vie.
CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES
· Résistance aux hautes températures
· Résistance aux chocs thermiques
· Haute conductivité thermique
· Haute résistance mécanique
· Résistance aux acides et aux alcalis
· Résistance à l'usure
PARAMÈTRE PRINCIPAL
Industrie des équipements de fours à haute température | RSiC |
Teneur en SiC (%) | ≥ 99% |
Masse volumique apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosité apparente (%) | <17 |
Résistance à la température ambiante (MPa) | 90~100 |
Résistance à 1300℃(MPa) | 100-110 |
Module d'élasticité à 20℃ | 240 |
Conductivité thermique à 1200℃ (W/mk) | 36 |
Dilatation thermique x10-6/℃ | 4.6 |
Température maximale d'utilisation (℃) | 1650℃ |
Dureté à 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Ténacité à la rupture à 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DÉTAILS DU PRODUIT
Le cylindre isolant a une pureté ultra élevée : la pureté du corps fritté est supérieure à 3N et la précision de traitement peut atteindre 0,01 mm.
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