Les tubes de four à semi-conducteurs (tels que ceux utilisés dans les fours de diffusion, les fours d'oxydation, etc.) doivent répondre à des exigences strictes telles qu'une pureté ultra-élevée, une stabilité à haute température et une résistance aux chocs thermiques. Le tube de four RSiC est devenu un matériau courant en raison de ses excellentes propriétés. La pureté du corps fritté est supérieure à 3N et la précision du traitement est de 0,01 mm.
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Le support de wafer RSiC est un composant essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs et les processus de croissance cristalline. Il est spécialement conçu pour supporter les wafers de silicium ou les substrats en carbure de silicium dans des environnements à haute température. Ce support de wafer essentiel de 30 cm offre un support fiable lors des différentes étapes du traitement thermique.
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Le tube de protection de thermocouple en carbure de silicium lié au nitrure de silicium (NSiC) est un composant clé dans le domaine de la mesure à haute température. Le tube de protection de thermocouple NSiC présente d'excellentes performances dans des environnements extrêmes qui nécessitent une résistance à haute température, une résistance à l'usure et une stabilité thermique.
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Le barillet d'isolation de la chambre du four est un composant clé du champ thermique utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs tels que la croissance du silicium monocristallin et le traitement thermique des plaquettes. Le barillet isolant doit répondre aux exigences de température extrêmement élevée, de pureté élevée et d'excellente isolation thermique.
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La plaque de protection thermique du four est l'un des composants principaux des semi-conducteurs à haute température et du photovoltaïque. Équipement de frittage de nouveaux matériaux pour plaques de protection thermique RSiC. La plaque de protection thermique RSiC présente les caractéristiques d'une résistance à haute température, d'une faible perte de chaleur et d'une longue durée de vie.
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La palette en porte-à-faux en carbure de silicium recristallisé est un composant céramique haute performance, principalement utilisé dans des industries telles que la chimie, la métallurgie, la protection de l'environnement et les semi-conducteurs en raison de sa résistance supérieure aux hautes températures, de sa résistance à la corrosion, de sa résistance à l'usure et de sa bonne stabilité aux chocs thermiques.
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Le porte-plaquettes en SiC est un support essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs et les processus de croissance cristalline, principalement utilisé pour transporter des plaquettes de silicium ou des substrats en carbure de silicium dans des environnements à haute température. Le bateau à plaquettes en carbure de silicium présente des avantages tels qu'une pureté élevée, une résistance à haute température (supérieure à 1600 °C), une résistance à la corrosion acide et alcaline, un faible coefficient de dilatation thermique et une conductivité thermique élevée.
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Le porte-plaquettes RSiC est un support essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs et les processus de croissance cristalline, principalement utilisé pour transporter des plaquettes de silicium ou des substrats en carbure de silicium dans des environnements à haute température. Les nacelles à plaquettes horizontales sont utilisées dans les fours de diffusion horizontaux.
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Le support de plaquettes RSiC est un support clé dans la fabrication de semi-conducteurs et les processus de croissance cristalline, principalement utilisé pour transporter des plaquettes de silicium ou des substrats en carbure de silicium dans des environnements à haute température. Le support de plaquette semi-conductrice présente des avantages tels qu'une pureté élevée, une résistance à haute température (supérieure à 1600 °C), une résistance à la corrosion acide et alcaline, un faible coefficient de dilatation thermique et une conductivité thermique élevée.
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Tube de four RSiC : Le tube de four en carbure de silicium recristallisé est un composant essentiel des équipements de fabrication de semi-conducteurs, principalement utilisé dans les chambres de traitement à haute température (croissance épitaxiale, implantation ionique, fours de diffusion, etc.). La pureté du corps fritté est supérieure à 3 N et la précision d'usinage peut atteindre 0,01 mm, répondant ainsi aux exigences de pureté ultra-élevée, de résistance à la corrosion et de précision dimensionnelle.
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Les nacelles RSiC sont un composant essentiel de la fabrication de semi-conducteurs. Elles sont conçues pour maintenir les wafers en toute sécurité lors des processus à haute température. Elles offrent une résistance élevée aux températures élevées, une excellente résistance aux chocs thermiques et à la corrosion acide et alcaline, une grande pureté et une grande stabilité structurelle.
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Le tube de protection de thermocouple en carbure de silicium recristallisé (RSiC) est un composant clé dans le domaine de la mesure à haute température. Le tube thermocouple RSiC présente d'excellentes performances dans des environnements extrêmes qui nécessitent une résistance à haute température, une résistance à l'usure et une stabilité thermique.
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