Plaquette semi-conductrice SiC de 6 pouces, haute dureté
Le bateau à plaquettes en carbure de silicium présente de nombreux avantages significatifs, ce qui rend le bateau à plaquettes SiC exceptionnel dans des environnements difficiles tels que des températures élevées, une propreté élevée et une forte corrosion.
Les nacelles en carbure de silicium présentent une stabilité thermique élevée. Leur température de fonctionnement à long terme peut atteindre 1 350 °C à 1 650 °C, ce qui répond aux exigences des procédés courants de fabrication de semi-conducteurs tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), la diffusion, le recuit, etc. Elles ne se ramollissent ni ne se déforment à 1 700 °C pendant une courte période. Elles conviennent aux équipements de pointe tels que les fours mono-plaquettes en carbure de silicium.
Les wafers en carbure de silicium présentent un faible coefficient de dilatation thermique et une excellente résistance aux chocs thermiques, ce qui leur permet de résister aux variations rapides de température et de réduire les fissures structurelles dues aux contraintes thermiques. Même dans des atmosphères complexes à haute température, les wafers en carbure de silicium conservent une morphologie et des performances optimales.
Les nacelles de plaquettes de silicium présentent une propreté de surface extrêmement élevée et une faible pollution. Ce matériau, d'une grande pureté et d'une teneur extrêmement faible en impuretés métalliques, permet d'éviter toute pollution secondaire des plaquettes de silicium. La rugosité de surface Ra peut être contrôlée à moins de 0,1 μm, répondant ainsi aux exigences strictes des procédés avancés en matière de propreté.
De plus, la personnalisation des bateaux à plaquettes SiC permet d'obtenir des rainures de dents sans bavures et non endommagées, et peut être personnalisée dans différentes tailles telles que des bateaux à plaquettes de 4 pouces, des bateaux à plaquettes de 6 pouces, des bateaux à plaquettes de 8 pouces, des bateaux à plaquettes de 12 pouces, etc.
Enfin, la structure du bateau en plaquette de SiC présente une résistance élevée et une longue durée de vie, avec une durée de vie moyenne 5 à 10 fois plus longue que celle des bateaux en quartz traditionnels, réduisant considérablement la fréquence de changement d'équipement et les coûts de possession globaux.
PARAMÈTRES TECHNIQUES DU MATÉRIAU
Industries des semi-conducteurs/photovoltaïques | RSiC |
Pureté du SiC (%) | 99,9-99,99 |
Masse volumique apparente (g/cm3) | 2,65-2,75 |
Porosité apparente (%) | 15-16 |
Résistance à température ambiante (MPa) | 90 |
Résistance à 1300℃(MPa) | 100 |
Résistance de connexion du corps fritté (MPa) | 25 |
DÉTAILS DU PRODUIT
Ce produit est une nacelle de 6 pouces de diamètre, de 150 mm, destinée à accueillir la wafer correspondante. La capacité d'une nacelle de 6 pouces est généralement comprise entre 25 et 100 wafers.
Comparées aux matériaux en quartz, les nacelles de 6 pouces présentent des caractéristiques similaires à celles de la céramique en carbure de silicium. Elles sont moins sujettes aux déformations dues aux contraintes de flexion et aux contraintes thermiques, et s'adaptent aux conditions de réaction difficiles, notamment la forte corrosion et les températures ultra-élevées des joints de fabrication. La céramique en carbure de silicium est le matériau idéal pour les nacelles, et les nacelles de 6 pouces constituent également un produit émergent sur ce marché.
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À PROPOS DE NOUS
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) est une entreprise intégrée spécialisée dans les solutions personnalisées en carbure de silicium. Nous proposons des services OEM et ODM complets, fournissant des supports de four sur mesure, incluant la personnalisation dimensionnelle et la conception technique. Grâce à la validation d'échantillons et à des normes de qualité rigoureuses, nous garantissons des performances fiables pour diverses exigences de production.
