Tube de four semi-conducteur RSiC haute pureté
DESCRIPTION DU PRODUIT
Le four à semi-conducteurs, pierre angulaire de la fabrication moderne de puces, repose sur un composant essentiel : le tube de four RSiC. Ce tube en carbure de silicium haute pureté constitue le cœur des fours de diffusion et d'oxydation verticaux ou horizontaux. À l'intérieur de ce tube, les plaquettes, placées sur des supports spécialisés, subissent des procédés haute température précis sous atmosphère contrôlée. Plateforme haute température indispensable, le tube de four RSiC est au cœur des procédés clés des semi-conducteurs, notamment l'oxydation thermique, la diffusion, le dépôt LPCVD et le recuit, offrant une uniformité, une stabilité et une capacité de production inégalées.
Caractéristiques du tube de four RSiC
L'application de matériaux en carbure de silicium dans les équipements semi-conducteurs à haute température apporte plusieurs avantages essentiels :
Stabilité exceptionnelle à haute température : capable d'un fonctionnement prolongé dans des environnements dépassant 1600°C, avec une tolérance à court terme jusqu'à 1800°C.
Résistance supérieure aux chocs thermiques : la combinaison d'une conductivité thermique élevée et d'un faible coefficient de dilatation thermique permet au tube de four en carbure de silicium de résister à des cycles de chauffage et de refroidissement rapides sans dommage.
Inertie chimique exceptionnelle : présente une excellente résistance à la corrosion causée par les acides, les alcalis et divers gaz de procédé, garantissant ainsi la pureté du procédé.
Résistance mécanique et dureté élevées : maintient l'intégrité structurelle et résiste à la déformation sous des charges thermiques et mécaniques élevées, garantissant une durabilité à long terme.
Distribution uniforme du champ thermique : conçue pour maintenir un profil de température extrêmement cohérent, avec un gradient de paroi minimal, ce qui est crucial pour l'uniformité du processus sur toutes les plaquettes.
CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES
Résistance aux températures extrêmes : garantit performances et longévité dans les processus thermiques les plus exigeants.
Capacité de cyclage thermique rapide : le tube de four RSiC robuste peut gérer des taux de chauffage et de refroidissement agressifs, augmentant ainsi la productivité et réduisant les temps de cycle.
Conductivité thermique élevée : assure un transfert de chaleur efficace et un environnement thermique stable et uniforme dans le tube du four en carbure de silicium.
Intégrité structurelle supérieure : fournit un support fiable et sans affaissement pour les bateaux à plaquettes pendant une durée de vie prolongée.
Excellente résistance à la corrosion et à l'usure : protège contre les produits chimiques agressifs et l'érosion atmosphérique, minimisant la génération de particules et la contamination.
PARAMÈTRE PRINCIPAL
Industrie des équipements de fours à haute température | RSiC |
Teneur en SiC (%) | ≥ 99% |
Masse volumique apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosité apparente (%) | <17 |
Résistance à température ambiante (MPa) | 90~100 |
Résistance à 1300℃(MPa) | 100-110 |
Module d'élasticité à 20℃ | 240 |
Conductivité thermique à 1200℃ (W/mk) | 36 |
Dilatation thermique x10-6/℃ | 4.6 |
Température maximale d'utilisation (℃) | 1650℃ |
Dureté à 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Ténacité à la rupture à 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DÉTAILS DU PRODUIT
Dans la fabrication de semi-conducteurs, le tube de four RSiC constitue le cœur des équipements haute température. Ce tube de four en carbure de silicium haute pureté crée un environnement étanche, uniforme et exempt de contaminants, essentiel au traitement des plaquettes.
Fonctions principales :
Pour héberger des plaquettes (chargées sur des bateaux à plaquettes) et faciliter les étapes critiques à haute température telles que la diffusion, l'oxydation, le recuit et le dépôt de couches minces.
Pour fournir une enceinte hermétique, le tube de four RSiC permet un contrôle précis du débit et de la distribution des gaz réactifs (par exemple, O₂, N₂).
Les propriétés exceptionnelles du tube de four RSiC garantissent la cohérence du processus, maximisent le rendement et sont fondamentales pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés.
EMBALLAGE
NOTRE AVANTAGE
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang), spécialisée dans les produits en carbure de silicium (SiC), a mis en place un modèle de services commerciaux transfrontaliers pour l'ensemble de la chaîne industrielle du SiC grâce à l'intégration des ressources. Elle bénéficie d'un avantage concurrentiel en couvrant les différents aspects de la chaîne industrielle, en intégrant l'approvisionnement en matières premières, la personnalisation des produits et d'autres maillons. Grâce à un approvisionnement centralisé, elle réduit les coûts marginaux et permet une réactivité accrue, améliorant ainsi l'efficacité et réduisant les coûts pour les acheteurs. Elle propose des services sur mesure pour répondre aux différents besoins des clients, en intégrant la logistique, les douanes, le règlement et d'autres maillons, et en offrant des services complets et pratiques.
