Palette cantilever en carbure de silicium recristallisé
DESCRIPTION DU PRODUIT
La palette cantilever en carbure de silicium est un composant structurel céramique haute performance caractérisé par sa conception plate avec des bandes allongées ou des configurations perforées. Cette palette cantilever en SiC spécialisée est principalement utilisée dans les systèmes de manutention de plaquettes photovoltaïques et de semi-conducteurs, assurant un support fiable des matériaux lors des processus de frittage. Fabriquée à partir de poudre de carbure de silicium haute pureté exclusive (teneur en SiC : 99,99 %), notre entreprise possède des capacités uniques pour produire des palettes cantilever en SiC à grande échelle, mesurant plusieurs mètres de long et répondant à des exigences géométriques complexes. Ces palettes cantilever en carbure de silicium de pointe constituent des éléments porteurs et de transport essentiels pour les applications de traitement thermique des plaquettes et de dépôt chimique en phase vapeur.
Caractéristiques de la palette cantilever en carbure de silicium recristallisé
1. Adaptabilité environnementale
Résistance aux hautes températures : la palette en porte-à-faux SiC maintient l'intégrité structurelle à des températures de fonctionnement atteignant 1650 °C, résistant même à une exposition thermique à court terme plus élevée sans déformation, ce qui la rend idéale pour le LPCVD et d'autres processus à haute température.
Résistance aux chocs thermiques : Grâce à son faible coefficient de dilatation thermique, cette palette en porte-à-faux résiste aux conditions de cycle thermique rapides, prolongeant considérablement les intervalles de maintenance de l'équipement.
2. Performances mécaniques
Capacité de charge élevée : une résistance exceptionnelle à la flexion permet à la palette en porte-à-faux SiC de supporter des charges de plaquettes considérablement plus élevées par rapport aux matériaux en quartz traditionnels, améliorant ainsi le débit de production.
Résistance à l'usure et à la corrosion : Évaluée au niveau de dureté Mohs 9, la palette cantilever SiC démontre une excellente résistance aux acides, aux alcalis et à l'érosion particulaire, minimisant les risques de contamination et préservant la pureté de la plaquette.
3. Construction légère et durée de vie prolongée
La palette en porte-à-faux à faible densité réduit les charges mécaniques du système tout en offrant une durée de vie 3 à 5 fois plus longue que les alternatives en métal ou en quartz, réduisant considérablement les coûts totaux de possession.
4. Précision et stabilité
Une finition de surface supérieure et une stabilité thermique exceptionnelle permettent à la palette en porte-à-faux en carbure de silicium de faciliter la manipulation robotique automatisée tout en répondant aux exigences de précision strictes pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs.
CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES
Résistance aux hautes températures
Résistance aux chocs thermiques
conductivité thermique élevée
Haute résistance mécanique
Résistance aux acides et aux alcalis
Résistance à l'usure
PARAMÈTRE PRINCIPAL
Industrie des équipements de fours à haute température | RSiC |
Teneur en SiC (%) | ≥ 99% |
Masse volumique apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosité apparente (%) | <17 |
Résistance à température ambiante (MPa) | 90~100 |
Résistance à 1300℃(MPa) | 100-110 |
Module d'élasticité à 20℃ | 240 |
Conductivité thermique à 1200℃ (W/mk) | 36 |
Dilatation thermique x10-6/℃ | 4.6 |
Température maximale d'utilisation (℃) | 1650℃ |
Dureté à 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Ténacité à la rupture à 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
APPLICATION
Applications industrielles des palettes cantilever en SiC
Fabrication de semi-conducteurs : la palette en porte-à-faux en carbure de silicium fournit un support essentiel dans les fours de diffusion et les équipements CVD, garantissant des environnements de traitement de plaquettes stables.
Production photovoltaïque : En tant qu'éléments porteurs critiques dans les fours de frittage de plaquettes de silicium, la palette en porte-à-faux SiC permet une production de masse efficace de cellules solaires.
Traitement avancé des céramiques : cette palette en porte-à-faux facilite le frittage à haute température des céramiques techniques, notamment les composants en nitrure de silicium et en zircone.
Applications dans l'industrie du verre : La palette cantilever robuste en carbure de silicium sert efficacement de rouleaux de transport de verre fondu dans les systèmes de traitement du verre à haute température.
À PROPOS DE NOUS
Après plus de 20 ans de recherche et d'innovation produits, l'entreprise intervient dans les secteurs des supports de fours industriels, de la poudre de carbure de silicium, des films céramiques écologiques, des céramiques électroniques et des semi-conducteurs photovoltaïques. Ses produits sont exportés vers plus de 20 pays et régions, dont les États-Unis, le Japon, l'Allemagne, l'Italie, l'Espagne, l'Australie, l'Afrique du Sud, le Brésil et la Thaïlande. L'entreprise dispose d'agents dans plusieurs pays et ses exportations représenteront 30 % de sa production totale en 2024.
