Tubes et accessoires de four

Les tubes de four à semi-conducteurs (tels que ceux utilisés dans les fours de diffusion, les fours d'oxydation, etc.) doivent répondre à des exigences strictes telles qu'une pureté ultra-élevée, une stabilité à haute température et une résistance aux chocs thermiques. Le tube de four RSiC est devenu un matériau courant en raison de ses excellentes propriétés. La pureté du corps fritté est supérieure à 3N et la précision du traitement est de 0,01 mm.

Le barillet d'isolation de la chambre du four est un composant clé du champ thermique utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs tels que la croissance du silicium monocristallin et le traitement thermique des plaquettes. Le barillet isolant doit répondre aux exigences de température extrêmement élevée, de pureté élevée et d'excellente isolation thermique.

La plaque de protection thermique du four est l'un des composants principaux des semi-conducteurs à haute température et du photovoltaïque. Équipement de frittage de nouveaux matériaux pour plaques de protection thermique RSiC. La plaque de protection thermique RSiC présente les caractéristiques d'une résistance à haute température, d'une faible perte de chaleur et d'une longue durée de vie.

La palette en porte-à-faux en carbure de silicium recristallisé est un composant céramique haute performance, principalement utilisé dans des industries telles que la chimie, la métallurgie, la protection de l'environnement et les semi-conducteurs en raison de sa résistance supérieure aux hautes températures, de sa résistance à la corrosion, de sa résistance à l'usure et de sa bonne stabilité aux chocs thermiques.

Tube de four RSiC : Le tube de four en carbure de silicium recristallisé est un composant essentiel des équipements de fabrication de semi-conducteurs, principalement utilisé dans les chambres de traitement à haute température (croissance épitaxiale, implantation ionique, fours de diffusion, etc.). La pureté du corps fritté est supérieure à 3 N et la précision d'usinage peut atteindre 0,01 mm, répondant ainsi aux exigences de pureté ultra-élevée, de résistance à la corrosion et de précision dimensionnelle.