Tube de procédé/tube de four RSiC haute pureté à paroi mince
DESCRIPTION DU PRODUIT
Dans les équipements à haute température pour la fabrication de semi-conducteurs et de panneaux photovoltaïques, tels que les fours de diffusion, les fours CVD, les fours de recuit, etc., le tube de four RSiC est un composant auxiliaire clé installé à l'intérieur ou à l'extérieur du tube de processus principal, et le rôle du tube de processus va bien au-delà de la simple protection physique.
Les tubes de four peuvent empêcher la contamination des métaux, garantissant ainsi le contrôle de la pollution et la pureté pendant le processus ;
Protégez le tube de processus principal et prolongez la durée de vie de l'équipement.
Les tubes de four RSiC présentent des avantages significatifs dans les domaines de fabrication haut de gamme tels que les semi-conducteurs, le photovoltaïque et les semi-conducteurs de troisième génération, dans les processus à haute température, corrosifs et de haute pureté.
Caractéristiques du tube de four RSiC
1. Performances à très haute température : température jusqu'à 1600 ℃, dépassant de loin le tube de traitement en quartz (limite de 1200 ℃) et le tube de traitement en céramique ordinaire ;
2. Excellente résistance aux chocs thermiques : le tube de traitement peut supporter une augmentation et une diminution rapides de la température de 1 000 ℃/min ;
3、Inertie chimique super forte : résistant aux gaz corrosifs tels que HCl, Cl₂, HF, etc.
4、Ultra haute pureté et faible pollution : teneur en impuretés métalliques < 1 ppm ;
5. Longue durée de vie : forte capacité anti-sédimentation et faible coût de maintenance ;
6. Optimisation de l'uniformité du champ thermique : les tubes de four RSiC présentent une conductivité thermique élevée, une homogénéisation rapide et une réduction de la différence de température axiale dans le four (contrôlable à ± 0,3 ℃).
PARAMÈTRE PRINCIPAL
Industrie des équipements de fours à haute température | RSiC |
Teneur en SiC (%) | ≥ 99% |
Masse volumique apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosité apparente (%) | <17 |
Résistance à température ambiante (MPa) | 90~100 |
Résistance à 1300℃(MPa) | 100-110 |
Module d'élasticité à 20℃ | 240 |
Conductivité thermique à 1200℃ (W/mk) | 36 |
Dilatation thermique x10-6/℃ | 4.6 |
Température maximale d'utilisation (℃) | 1650℃ |
Dureté à 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Ténacité à la rupture à 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DÉTAILS DU PRODUIT
Tube de four RSiC/tube de processus, la pureté du corps fritté est supérieure à 3N et la précision de traitement du tube de processus est de 0,01 mm.
EMBALLAGE
À PROPOS DE NOUS
En tant qu'entreprise commerciale spécialisée dans les services de la chaîne industrielle complète du carbure de silicium (SiC), Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) dispose d'avantages significatifs dans la plate-forme de commerce extérieur en termes de modèle commercial et de chaîne de valeur.L'entreprise a la capacité d'intégrer la chaîne industrielle : en amont : en se connectant aux principales entreprises nationales de production de carbure de silicium, couvrant la gamme complète de matières premières, de produits (abrasifs, pièces en céramique) et de dispositifs semi-conducteurs (wafers, modules de puissance).En aval : Au service des acheteurs internationaux, en fournissant des services personnalisés et en proposant des solutions d'approvisionnement uniques.Fournir des services de haute qualité pour l'approvisionnement, la logistique, le dédouanement, le règlement transfrontalier, etc.
