Les tubes de four à semi-conducteurs (tels que ceux utilisés dans les fours de diffusion, les fours d'oxydation, etc.) doivent répondre à des exigences strictes telles qu'une pureté ultra-élevée, une stabilité à haute température et une résistance aux chocs thermiques. Le tube de four RSiC est devenu un matériau courant en raison de ses excellentes propriétés. La pureté du corps fritté est supérieure à 3N et la précision du traitement est de 0,01 mm.
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Tube de four RSiC : Le tube de four en carbure de silicium recristallisé est un composant essentiel des équipements de fabrication de semi-conducteurs, principalement utilisé dans les chambres de traitement à haute température (croissance épitaxiale, implantation ionique, fours de diffusion, etc.). La pureté du corps fritté est supérieure à 3 N et la précision d'usinage peut atteindre 0,01 mm, répondant ainsi aux exigences de pureté ultra-élevée, de résistance à la corrosion et de précision dimensionnelle.
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