Raccords de chambre à plaque de protection thermique pour four RSiC
DESCRIPTION DU PRODUIT
La plaque de protection thermique RSiC est un composant essentiel des équipements haute température tels que les fours de diffusion, les fours CVD, les fours de recuit, etc. Elle joue un rôle important dans la réduction des pertes de chaleur, le maintien de l'uniformité de la température et la protection des structures externes. Ses principales fonctions sont les suivantes :
Isolation thermique : utilisée dans les procédés de traitement thermique et LPCVD pour transporter des nacelles en silicium, bloquant efficacement le transfert de chaleur et obtenant une isolation efficace ;
Améliorer l'uniformité de la température : à l'aide d'une conception multicouche de réflexion ou d'isolation, favoriser la répartition équilibrée du champ thermique dans le four et contrôler la différence de température dans la plage de ± 1-2 ℃ ;
Fonction de support mécanique : les plaques de protection thermique RSiC fournissent une base de support solide et stable pour les éléments chauffants, les tubes de traitement ou les dispositifs de transport de puces.
Caractéristiques de la plaque de protection thermique du four RSiC
Résistance aux hautes températures : peut fonctionner de manière stable pendant une longue période dans un environnement de 800 à 1600 ℃, s'adaptant aux différentes exigences de processus ;
Faible conductivité thermique : la conductivité thermique à température ambiante est généralement inférieure à 1 W/(m · K), supprimant efficacement la conduction thermique ;
Inertie chimique : Résistant à la corrosion de divers gaz de procédé (tels que O₂, H₂, HCl, etc.), maintenant des performances stables ;
Matériau de haute pureté : avec une teneur en impuretés extrêmement faible, la plaque de protection thermique RSiC empêche les substances volatiles de contaminer la plaquette à des températures élevées ;
Structure légère : avec une petite capacité thermique, la plaque de protection thermique permet d'obtenir un chauffage et un refroidissement rapides, améliorant ainsi l'efficacité du processus.
CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES
· Résistance aux hautes températures
· Résistance aux chocs thermiques
· Haute conductivité thermique
· Haute résistance mécanique
· Résistance aux acides et aux alcalis
· Résistance à l'usure
PARAMÈTRE PRINCIPAL
Industrie des équipements de fours à haute température | RSiC |
Teneur en SiC (%) | ≥ 99% |
Masse volumique apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosité apparente (%) | <17 |
Résistance à la température ambiante (MPa) | 90~100 |
Résistance à 1300℃(MPa) | 100-110 |
Module d'élasticité à 20℃ | 240 |
Conductivité thermique à 1200℃ (W/mk) | 36 |
Dilatation thermique x10-6/℃ | 4.6 |
Température maximale d'utilisation (℃) | 1650℃ |
Dureté à 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Ténacité à la rupture à 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DÉTAILS DU PRODUIT
Une plaque de blindage pour semi-conducteurs est loin d'être un simple matériau isolant. C'est un composant fonctionnel essentiel qui intègre l'isolation, l'égalisation de température, la portance, l'antisalissure et l'amélioration du rendement, directement liés aux performances, à l'efficience, au rendement et au coût des procédés de fabrication des semi-conducteurs.
EMBALLAGE
NOS AVANTAGES
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) fournit à ses clients internationaux des produits de haute qualité grâce à un système de production performant doté d'une technologie de pointe, garantissant une qualité supérieure et une réactivité optimale. Grâce à des solutions logistiques diversifiées intégrant le transport maritime, aérien et terrestre, nous offrons un service complet et fluide pour garantir des livraisons sûres et ponctuelles dans le monde entier. Nous sommes spécialisés dans la fourniture de spécifications précises adaptées à vos besoins, des dimensions non standard aux conceptions OEM/ODM complètes.
